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先进和自动化的SEM测量技术,用于光刻图案或微纳米结构的检测分析。 光刻工具(电子束或激光和光学)与额外的数据准备和工艺 改进技术相结合,针对微纳米结构的图案化进行了高度优化 和自动配接。 然而,基于SEM的计量和检测是手动的,而且执行起来非常 繁琐。如今,研发机构、多用户设施和专业的小批量制造公 司都需要简单、自动化和可靠的测量—— 而 ProSEM 确实 提供了这些功能。
ProSEM的进阶软件,可与SEM链接测量