| 光刻胶 | 膜厚[um] 旋涂@3000rpm | G玻璃转变温度Tg【°C】 | 特点 |
|---|---|---|---|
mr-I 8010R | 100 | 115 | 高Tg，高刻蚀选择性 |
| mr-I 8020R | 200 | ||
| mr-I 8030R | 300 |
| 材料特性和压印参数 | mr-I 8000R |
| 玻璃化转变温度Tg | 115°C |
| 压印温度 | 150°C-180°C |
| 压印压力 | 20-40bar |
| 适用于各种膜厚度（3000rpm） | mr-I 8010R 100nm mr-I 8020R 200nm mr-I 8030R 300nm |
| 稀释剂 | ma-T 105 |
| 脱模剂 | ma-T 1050，丙酮，有机溶剂或氧等离子体 |
独特的功能
-
l集成氟化添加剂可促进印章分离
l100%有机热塑性塑料→ 可以使用纯氧等离子体进行干法蚀刻和剥离
l可溶于丙酮和其他常见溶剂的聚合物→ 易于清洁
lmr-I 8000R含有一种氟化添加剂，用于降低印模分离过程中的脱模力。可应要求提供无添加剂的基本压印聚合物mr-I 8000E。
应用
-
通过图案转移制备纳米图案，例如
l高亮度LED
l光子晶体
l图案介质
l纳米光学器件、亚波长光学元件
l微流体，生物应用
l单层剥离
推荐配套使用的工艺化学品
