本设备是一款HMDS雾化涂布设备，可将蒸发的六甲基二硅氮烷(HMDS)涂覆到300毫米的硅片或石英衬底的表面，用于热诱导反应。设有装载台，可将基底输送到烘烤板上，确保安全，触摸屏操作，简便又快捷，配有高的温控精度以及重复性，可保证实验的准确性。
APPS-30是一款日本Litho Tech Japan（LTJ）公司自主研发生产完成的HMDS雾化涂布装置。
产品特点
基本信息
系统配置：
l高精度150℃烘烤板
lHMDS涂覆单元
l晶圆装载台
l操作触摸面板
技术参数：
l2-8英寸硅片
l基板传输：含3个顶针
l烘烤温度设定范围:60℃~ 150℃
l温度的精度：100℃±0.5℃
设备操作方式
- 0510-85850689
- 香港九龙官塘成业街27号日升中心7楼702室
- 江苏省无锡市建筑西路599-1（1号楼）17楼1701
- 深圳市南山区粤海街道蔚蓝海岸社区兰香一街2号海王星辰大厦1102室
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