基本配置：

硬件部分：
1. 傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）：日本分光公司制造的 FT/IR-6600

(1) 测量波长范围 ：7800−350cm-1

(2) 分解 ：0.4−16cm-1

(3) 检测器 ：帕尔贴（Peltier）恒温 DLATGS（7800−350cm-1）

(4) MCT-M（可选）（7800−650cm-1）

(5) 干涉计 ：28°入射迈克尔逊干涉仪密闭型（KRS-5 窗板）

(6) 角镜･反射镜

(7) 快速扫描 ：20scan/sec（分解 16cm-1）

(8) 可选程序 ：间隔测量程序

(9) 数据处理单元 ：Windows8.1Pro 笔记本电脑

2. 热板系统

(1) 直径：φ100mm 、可对应6英寸的热板

(2) 最高温度：150℃

(3) 精度：±1℃（在热板表面上：100℃设定/5 点测量）

(4) 晶片插入准确度相对于光路45度

   3. 曝光光源

(1) 曝光光源搭载了ISTEQ 公司制造的激光激发白色光源 LDLS XWS-X，通过反射镜光学系统可以取出 193nm、248nm、365nm波长的光源，一边曝光一边进行原位实时测量，搭载了快门开关控制光源的开闭。

(2) 曝光功率和均匀性规格

1) 曝光功率： >0.2mW/cm2

2) 曝光面积： 5mmφ

3) 照度均一性： ±10%以内

4) 光源规格

5) 型号： XWS-X（荷兰 ISTEQ 公司制造）

6) 输出光谱范围： 190～2500nm

7) 灯泡寿命： 约 10000 小时

(3) 各波长照射方式

对应于 193nm、248nm、365nm 反射镜及带通滤波器

(4) 照度计：VEGA 系列(奥菲尔公司制造) 可对应 193nm，248nm，365nm波长照度的测定。

软件部分

1. 脱保护反应分析软件：Deprotection Simulator，版本号：2.0