LWB-03/LWB-03H:均为手动高精度烘烤/烘胶装置,温度最高可设置200℃,LWB-03H型号可设置最高温度为400℃,可根据不同的基底形状配置不同的烘烤板和升降销。
LWC-03:冷却装置,用于在烘焙后冷却晶圆,或在涂布前控制晶圆温度。
LWB系列是日本Litho Tech Japan(LTJ)公司自主研发生产完成的新一代产品。采用高精度温度传感器,操作界面采用触摸屏操作,直观方便。其性能相当于LTJ旗下LITHOTRAC自动涂胶显影一体机中配备的高精度烘烤板以及冷却板。常常与匀胶机,显影机配套使用,适用于半导体、制版以及表面涂覆等工艺,可在企业、科研、实验室、教育等单位作科研、开发、教学用途。
LWB-03/LWB-03H:均为手动高精度烘烤/烘胶装置,温度最高可设置200℃,LWB-03H型号可设置最高温度为400℃,可根据不同的基底形状配置不同的烘烤板和升降销。
LWC-03:冷却装置,用于在烘焙后冷却晶圆,或在涂布前控制晶圆温度。