深圳市利满洋行实业发展有限公司

实用性广：适用于小批量生产，实验室研究开发用。

操作简单：尽量简易的操作流程，友好的交互界面。

高效率：操作全自动化，只需要简单设置工艺配方即可批量处理晶圆，并行处理。

集成化高：设备高度集成化，稳定性高，维护成本低。

安全性高：配备急停，多种Inter-Lock，硬件检测，软件检测等多重防护。

精准控温：±0.5℃精度。

多种配方任意设置：最多可保存50个配方，每个配方最多可设置30个工序，功能可与大批量生产系统相媲美，是各种加工的理想选择。

兼容多种尺寸的晶圆和方形玻璃衬底：4，6，8，12英寸。（可以定制）

设备尺寸及重量※尺寸不含突出部分。
	本体	约1,600mm(W)x1,500mm(D)x1,700mm(H)；重约：450kg
	化学罐柜	约450mm(W)x1,100mm(D)x900mm(H)；重约：80kg
	温湿度控制器	约440mm(W)x800mm(D)x967mm(H)；重约：140kg
	真空泵	约230mm(W)x450mm(D)x275mm(H)；重约：60kg
系统构成
	设备本体	操作面板与机械本体一体吧含有光刻胶旋转涂布单元和旋转显影单元涂布单元可控温湿度，带 ULPA 过滤器收纳药液:含有2个光刻胶药液瓶、HMDS瓶、2个废液桶 HMDS单元冷板2块热板3块晶圆卡夹上下两个机械臂温控机
	药液箱	外装供药液系统含有3个20L密封罐，碱性显影液2瓶,稀释济1瓶
	温湿度控制器	控制显影单元的温湿度

LITHOTRAC Dual-1000:在晶圆卡夹上放置好晶圆后，点击控制面板启动设备，由双臂机械臂真空吸附晶圆后，根据客户设置的工艺流程配方，将晶圆运送到各个单元。晶圆是按晶圆卡夹指定的顺序从下端到上端取出，也可设置从第几块晶圆开始工作，处理结束后，机械臂将晶圆放回晶圆卡夹的原来位置。