SurPass 除了可增强光刻胶与衬底之间的附着力,也可以改变衬底表面能量提高流平性,因而加强光刻胶的涂布效果。有证据显示涂布聚酰亚胺(Polyimide)的基材上有较好效果,利用减低z-potential 来改善涂布的性能从而节省涂布材料。
型号 | SurPass3000 | SurPass4000 |
水基、无毒害 | √ | √ |
不含VOC、已经0.2μm过滤 | √ | √ |
兼容各种基材,包括石英、玻璃、Ⅷ族、金属、氧化金属、聚合物、瓷、蓝宝石、塑胶(PDMS、PFPE、PET等) | √ | √ |
PH值 | 微酸性(2.5-3.5) | 弱碱性(9.0-10.0) |
适合光刻胶种类:苯酚甲醛光刻树脂(phenolformaldehyde resins:DNQ/Novolac),聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate:PMMA),聚甲基戊二酰亚胺(poly methylglutarimide:PMGI),环氧基聚合物(epoxy based polymer:SU8),聚酰亚胺(polyimide) | 环氧光刻胶(SU-8)及电子束光刻胶(HSQ) | Novolac光刻胶(ma-N 1400,ma-N 2400及Shipley1800) |
涂布设备 | 旋涂/浸涂/喷涂 | 旋涂/浸涂/喷涂 |
雾化 | 不用 | 不用 |
使用过程添加物 | 不用 | 不用 |
有毒害化学品处理 | 不用 | 不用 |
危险品处理 | 不用 | 不用 |
排污处理 | 不用 | 不用 |
保存条件 | 室温 | 室温 |
原厂质保期 | 12个月 | 24个月 |
独特的功能
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无毒、无分解出有害物质、无溶剂挥发 VOC
水基配方,不会改变接触物表面化学或物理性质
增强光刻胶(或其它聚合物)与基材的附着力, 远胜 HMDS
使用快捷简易:旋涂(或浸入式)-> 冲洗干净 -> N2 吹干不需烘烤即可正常涂胶
兼容基材包括石英、玻璃、IIIV 族、金属、聚合物、蓝宝石等
兼容广泛光刻胶种类
可增强蒸镀金属与衬底的附着力
电铸前可增强光刻胶成型模与铜薄膜的附着力
增强附着力后可减低电子束 EBL 曝光时 BSE 排放并减低使用能量及缩短其曝光时间
省却预湿溶剂工序
非危险品,室温储存, 保质期长达 2 年
应用
推荐配套使用的工艺化学品