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SurPass 除了可增强光刻胶与衬底之间的附着力,也可以改变衬底表面能量提高流平性,因而加强光刻胶的涂布效果。有证据显示涂布聚酰亚胺(Polyimide)的基材上有较好效果,利用减低z-potential 来改善涂布的性能从而节省涂布材料。

型号SurPass3000SurPass4000
水基、无毒害
不含VOC、已经0.2μm过滤
兼容各种基材,包括石英、玻璃、Ⅷ族、金属、氧化金属、聚合物、瓷、蓝宝石、塑胶(PDMS、PFPE、PET等)
PH值微酸性(2.5-3.5)弱碱性(9.0-10.0)
适合光刻胶种类:苯酚甲醛光刻树脂(phenolformaldehyde resins:DNQ/Novolac),聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate:PMMA),聚甲基戊二酰亚胺(poly methylglutarimide:PMGI),环氧基聚合物(epoxy based polymer:SU8),聚酰亚胺(polyimide)环氧光刻胶(SU-8)及电子束光刻胶(HSQ)Novolac光刻胶(ma-N 1400,ma-N 2400及Shipley1800)
涂布设备旋涂/浸涂/喷涂旋涂/浸涂/喷涂
雾化不用不用
使用过程添加物
不用不用
有毒害化学品处理不用不用
危险品处理
不用不用
排污处理不用不用
保存条件室温室温
原厂质保期12个月24个月



独特的功能

无毒、无分解出有害物质、无溶剂挥发 VOC

水基配方,不会改变接触物表面化学或物理性质

增强光刻胶(或其它聚合物)与基材的附着力, 远胜 HMDS

使用快捷简易:旋涂(或浸入式)-> 冲干净 -> N2 吹干不需烘烤即可正常涂胶

兼容基材包括石英、玻璃、IIIV 族、金属、聚合物、蓝宝石等

兼容广泛光刻胶种类

可增强蒸镀金属与衬底的附着力

电铸前可增强光刻胶成型模与铜薄膜的附着力

增强附着力后可减低电子束 EBL 曝光时 BSE 排放并减低使用能量及缩短曝光时间

省却预湿溶剂工序

非危险品,室温储存, 保质期长达 2 年

应用
推荐配套使用的工艺化学品
  • 0510-85850689
  • 香港九龙官塘成业街27号日升中心7楼702室
  • 江苏省无锡市建筑西路599-1(1号楼)17楼1701
  • 深圳市南山区粤海街道蔚蓝海岸社区兰香一街2号海王星辰大厦1102室
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