LWB-03P：这是一款手动烘焙设备，配有高性能200°C烘焙板和冷却板。自动输送模式将烘烤后的基板转移到冷却板上进行冷却，确保安全。可以有效地记录PEB温度历史。此外，它还可以与两个或两个以上的烘焙板和200°C或更高温度的高温烘焙板组合，用于各种烘焙过程和涂布前的晶圆温度控制。
LWB系列是日本Litho Tech Japan（LTJ）公司自主研发生产完成的新一代产品。采用高精度温度传感器，操作界面采用触摸屏操作，直观方便。其性能相当于LTJ旗下LITHOTRAC自动涂胶显影一体机中配备的高精度烘烤板以及冷却板。常常与匀胶机，显影机配套使用，适用于半导体、制版以及表面涂覆等工艺，可在企业、科研、实验室、教育等单位作科研、开发、教学用途。
产品特点
基本信息
技术参数：
l可记忆30个步骤和50个程序
l温控范围:0-400°C
l温控精度:±0.5°C
l可根据不同的基底形状配置不同的烘烤板/冷却板和升降销
设备操作方式
- 0510-85850689
- 香港九龙官塘成业街27号日升中心7楼702室
- 江苏省无锡市建筑西路599-1（1号楼）17楼1701
- 深圳市南山区粤海街道蔚蓝海岸社区兰香一街2号海王星辰大厦1102室
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