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  • VUVES曝光机
    可提供193,248nm曝光波长;测定光刻胶灵敏度以及Dill ABC参数
  • RDA光刻胶显影分析仪器
    计算分析光刻胶的各项参数,例如:膜厚变化曲线,显影速率,对比度曲线,PEB扩散长度等
  • LAB光刻模拟仿真软件
    模拟光刻胶3D成形;有多种曝光模组:Proximity/Projection/E-Beam/Laser;强大的工艺分析以及OPC功能:工艺窗口,膜厚优化,FEM,BARC优化等
VUVES曝光机

测量光刻胶灵敏度

测量透过率以及Dill ABC参数

RDA光刻胶显影分析仪器

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LAB光刻模拟仿真软件

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